2014年8月5日,江城“芯谷”产业园的研发中心报告厅内,气氛凝重得近乎凝固。渊渟资本的核心管理层、技术骨干、各配套企业负责人以及受邀而来的工信部领导和高校专家,济济一堂。前方的大屏幕上,正循环播放着国际设备巨头的封锁公告:A**L暂停所有对华DUV光刻机交付、应用材料终止技术服务、泛林半导体冻结零部件供应……每一条都像重锤般敲击着在场众人的心脏。
林渊身着深色西装,站在演讲台前,目光扫过台下一张张或焦虑、或期待、或质疑的脸庞。国产设备量产启动仪式的喜悦尚未完全消散,米国商务部最新的“实体清单”扩容公告就再次给所有人浇了一盆冷水——这次被纳入管控的,不仅是渊渟资本,还包括为其提供配套的12家国内企业。“过去三个月,我们经历了地基返工、设备故障、供应链断供,甚至资本市场的做空打压。”林渊的声音透过麦克风传遍整个报告厅,平静却带着不容置疑的力量,“有人问我,现在是不是该退了?是不是该向国际巨头妥协了?我的答案是,绝不!”
他抬手按下遥控器,大屏幕切换到一张《国产设备自主化路线图》,上面用红、蓝、绿三色清晰标注了短期、中期、长期目标。“短期之内,也就是未来12个月,我们要实现28纳米工艺核心设备的100%国产化,包括光刻机、刻蚀机、薄膜沉积设备等7大类关键设备;中期3年,完成14纳米工艺设备的研发量产;长期5年,攻克EUV光刻机核心技术,打破国际垄断。”林渊的手指重重敲在屏幕上的“光刻机”字样上,“这不是空想,我们的国产光刻机已经实现90%良率,高频振荡器、高精度轴承等核心零部件的自主研发也取得了突破,现在,我们缺的不是技术基础,而是破釜沉舟的决心!”
台下立刻响起了窃窃私语。中微公司的李工皱着眉头低声说道:“12个月实现7大类设备国产化,这太激进了。光是薄膜沉积设备的离子源技术,我们还没找到突破的头绪。”海市新阳的王总也面露难色:“光刻胶的抗蚀性问题还没彻底解决,就算设备到位了,材料跟不上也没用。”坐在前排的刘建国更是直接站起身:“林总,这个目标根本不切实际!之前的国产替代已经投入了40亿美元,再按这个路线图推进,至少还要追加80亿美元,我们的资金链根本承受不起!”
“资金问题我来解决!”林渊的声音陡然提高,“我已经与国家大基金、社保基金达成协议,将共同发起设立规模100亿美元的‘半导体设备自主化基金’,其中渊渟资本出资30亿美元,国家大基金出资40亿美元,剩余30亿美元面向国内机构募集。这笔基金将专门用于核心设备和材料的研发,所有参与研发的企业和团队,都能获得基金的股权投资和研发补贴。”他顿了顿,补充道,“此外,江城政府已经批准将‘芯谷’产业园的税收优惠期限延长至10年,研发费用加计扣除比例提高到200%,最大程度降低大家的研发成本。”
资金难题的解决,让台下的质疑声小了许多。工信部装备工业司的张司长站起身,语气郑重地说:“工信部将把‘半导体设备自主化’列为年度重点工作,协调全国的科研资源向‘芯谷’倾斜。我们已经启动了‘设备攻坚专项’,对突破关键技术的企业,将给予最高5亿元的一次性奖励;同时,建立‘国产设备首台套保险补偿机制’,降低下游企业的试用风险。”张司长的表态,给在场众人注入了一剂强心针。
林渊趁热打铁,公布了自主研发的组织架构:“我们将成立‘设备研发总院’,下设光刻机、刻蚀机、薄膜沉积设备等7个专项研究院,每个研究院由一名首席科学家牵头,实行‘院长负责制’,拥有研发经费的自主调配权和人事任免权。”他看向海因茨博士,“海因茨博士,我恳请你担任研发总院的总顾问,统筹所有设备的研发进度和技术路线规划。”海因茨博士站起身,郑重地点头:“我愿意为龙国的半导体事业尽一份力,就算是为了那些熬夜攻关的年轻工程师,我也会全力以赴!”
接下来的分组讨论中,技术团队围绕研发难点展开了激烈的争论。在光刻机专项讨论组,陈研究员提出了一个大胆的设想:“我们可以跳过A**L的传统光学设计路线,采用‘自由电子激光’技术,虽然研发难度大,但能直接瞄准14纳米工艺,甚至未来的7纳米工艺。”这个想法立刻引发了争议,中科院光电所的王研究员反驳道:“自由电子激光技术还停留在理论阶段,要实现设备化至少需要5年,我们现在连28纳米的成熟方案都没稳定,贸然转向风险太大。”
林渊全程旁听了讨论,最终拍板:“两条路线并行!陈研究员带领一支团队专攻自由电子激光技术,作为长期储备;王研究员带领主力团队优化现有光学路线,确保12个月内实现28纳米光刻机的稳定量产。研发基金将对两条路线分别拨款,互不干扰。”他解释道,“自主研发不能只看眼前,既要解决当下的量产问题,也要布局未来的技术制高点,这样才能真正打破垄断。”
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