2014年5月15日清晨,江城“芯谷”产业园的晶圆厂施工现场,原本轰鸣的机械突然陷入沉寂。项目总工程师老张蹲在地基旁,手里攥着刚打印出来的设备尺寸清单,眉头拧成了疙瘩。林渊赶到时,看到数十名施工人员围在临时指挥棚外,脸上满是焦急——刚刚接到的通知显示,泛林半导体终止交付的12台薄膜沉积设备,其基座尺寸与国产替代方案的样机存在23厘米偏差,已经浇筑完成的3号厂房地基,必须全部返工。
“林总,这可咋整啊!”老张的声音带着哭腔,“3号厂房的地基用了1.2万立方米混凝土,耗时28天完成浇筑,光人工和材料成本就花了8000万元。现在要返工,不仅要延误至少1个月工期,还得再投入5000万元。更要命的是,国产设备的重量比进口设备重3吨,地基的承重强度不够,得重新加筑钢筋混凝土垫层。”
林渊走到地基边缘,看着钢筋裸露的混凝土结构,心中沉甸甸的。这已经是一周内第三次因为设备问题导致施工停滞。此前,刻蚀机车间的通风管道因为国产设备的散热需求增加,不得不重新设计口径;净化车间的地面平整度因为光刻机的精度要求提高,需要从原来的3毫米误差提升到0.5毫米,仅打磨工序就得多花20天。“老张,立刻组织技术团队重新核算承重参数,我让设计院24小时内出修改方案。”林渊拍了拍老张的肩膀,“成本和工期的问题我来协调,先把返工的准备工作做起来。”
地基返工的消息很快传遍了产业园,引发了连锁反应。为薄膜沉积设备提供配套管道的企业紧急停工,等待新的尺寸参数;负责厂房钢结构安装的施工队因为工期延误,提出要增加30%的人工费用;更让林渊头疼的是,银行的信贷专员也闻讯而来,要求重新评估项目风险,威胁要暂停后续贷款的发放。“林总,根据最新的施工进度,项目至少要延期6个月,投资预算可能超支20%。”信贷专员拿着风险评估报告,语气严肃,“如果不能提供新的进度保障方案,我们只能按照合同约定,冻结剩余的15亿美元贷款。”
屋漏偏逢连夜雨。5月18日,国产光刻机研发中心传来坏消息:刚完成调试的样机在连续运行72小时测试中,物镜系统突然出现光斑偏移,导致晶圆刻蚀良率从92%骤降至65%。陈研究员带着团队排查了整整一天,终于发现是进口的光学镜片出现了微小裂纹——这是他们通过第三方渠道采购的二手镜片,原本以为能临时替代,没想到在高强度运行下提前失效。“国内的光学镜片企业最高只能生产精度等级4级的产品,而我们需要的是1级精度,就算现在启动研发,至少需要12个月才能量产。”陈研究员的声音充满了挫败感,“从国外采购新的镜片,根本绕不开出口管制,就算买到了,也不知道什么时候能运进来。”
光刻机的故障让本就紧张的局势雪上加霜。下游客户的质疑电话接连不断,比雅迪的采购总监在电话里直言不讳:“林总,我们的新车型生产线已经预留了你们芯片的接口,原本约定明年3月供货,如果你们的项目延期,我们只能转而采购三星的芯片,到时候再换回来,成本要增加1个亿。”华维的代表也发来函件,要求渊渟资本提供详细的量产时间表,否则将取消之前签订的20亿美元采购意向书。
资本市场的反应更为激烈。渊渟资本的股价在5月下旬再次暴跌20%,市值蒸发了120亿美元。做空机构浑水发布了长达50页的做空报告,列举了项目延期、设备故障、资金短缺等10大风险点,断言“‘芯谷’项目将在18个月内资金链断裂,渊渟资本可能面临退市风险”。董事会的紧急会议上,刘建国带着几名小股东发难:“现在止损还来得及!我们可以把‘芯谷’项目打包出售给台积电,至少能收回100亿美元的投资,总比血本无归强!”
“出售项目就是卖国!”唐老拍案而起,怒斥道,“‘芯谷’不是渊渟资本的私产,是国家半导体产业的希望!现在遇到一点困难就想着退缩,对得起那些熬夜攻关的工程师吗?对得起国家的支持吗?”他转向林渊,语气缓和了一些,“林总,工信部已经协调中科院海市光学精密机械研究所,他们有一套闲置的1级精度光学镜片,虽然是实验室样品,但可以临时借用,先解燃眉之急。”
林渊立刻安排赵宇带队前往海市取镜片,同时召集研发团队制定镜片国产化替代方案。然而,新的问题又出现了:中科院的镜片尺寸与光刻机的物镜系统不匹配,需要重新设计适配支架,这又要延误10天时间。更严重的是,镜片的使用寿命只有300小时,远低于进口镜片的1000小时,这意味着未来需要频繁更换,生产成本将大幅增加。“我们可以采用涂层技术延长镜片寿命。”李校长带来了华中科大的解决方案,“我们的团队在光学涂层领域有专利技术,能将镜片寿命提升到600小时,虽然还是不如进口产品,但至少能满足试生产需求。”
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