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小米阅读 > 都市 > 开局被裁,我收购了对手公司 > 第215章 联合国内高校与研究机构

2014年10月20日清晨,江城“芯谷”产业园的会议中心外,来自全国23所高校、15家科研机构的百余位专家学者陆续抵达。他们手中的参会证上,印着醒目的“半导体协同攻坚”字样——这是林渊牵头组织的“高校科研机构联合座谈会”,目的是将“伏羲实验室”的筹备蓝图转化为具体的合作方案,真正打通“产学研用”的最后一公里。

会议大厅的投影幕上,循环播放着“芯谷”产业园的建设纪实:从荒芜的工地到拔地而起的厂房,从国产刻蚀机的首次调试到光刻机良率的突破,每一帧画面都让在场的专家们感慨不已。清华大学材料学院的张教授看着屏幕上年轻工程师调试设备的场景,对身旁的中科院刘明院士说:“之前总听说渊渟资本敢闯敢干,今天才算真正见识到。短短一年时间,能把国产设备做到这个水平,不容易啊!”刘明院士点头认同:“关键是他们愿意把资源向科研端倾斜,这才是我们最需要的合作伙伴。”

林渊身着休闲西装,带着海因茨博士和赵宇走进大厅时,现场立刻响起了热烈的掌声。他快步走上讲台,开门见山:“今天请大家来,不是搞形式主义,而是要解决真问题。‘伏羲实验室’不是渊渟资本的‘一言堂’,而是我们共同的研发平台。接下来,我们将围绕光刻机、刻蚀机等核心设备的12项‘卡脖子’技术,签订具体的联合研发协议,明确各方的权责利,确保每一分研发经费都用在刀刃上。”

话音刚落,复旦大学微电子学院的李教授就站起身提问:“林总,我们团队在‘光刻胶光敏剂提纯’技术上有多年积累,但一直缺乏产业化资金。如果我们加入联合研发,渊渟能提供多少资金支持?研发成果的专利归属怎么划分?”这个问题说出了很多高校代表的心声,现场瞬间安静下来,所有人都看向林渊。

“资金和专利,我们早就有了方案。”林渊抬手示意工作人员分发资料,“针对每个联合研发项目,我们将采用‘基础经费 绩效奖金’的模式。基础经费覆盖研发所需的设备采购、人员薪酬等基本支出,根据项目难度核定,最低不低于5000万元;绩效奖金则与技术突破挂钩,实现阶段性目标发放30%,量产达标后发放剩余70%。”他翻到资料的第二页,“专利归属方面,高校和科研机构拥有署名权和基础研究成果的所有权,渊渟资本拥有产业化应用的独占许可权,同时会将产业化收益的15%作为分红,持续回馈研发团队。”

李教授仔细翻看资料,脸上露出了满意的笑容:“这个方案很实在,既保障了我们的科研自主权,又解决了产业化的后顾之忧。我们复旦大学愿意牵头‘光刻胶光敏剂提纯’项目,承诺6个月内实现99.99%纯度的量产级技术突破!”李教授的表态带动了现场气氛,浙江大学、海市交通大学等高校的代表也纷纷举手,主动认领了“光刻机物镜系统设计”“刻蚀机精密轴承加工”等难题。

中科院的代表则提出了不同的需求。中科院半导体研究所的王所长站起身:“我们有一项‘深紫外激光光源’技术,已经完成了实验室验证,但要适配到光刻机上,需要与设备研发团队深度协同。我们希望能派15名核心研发人员进驻‘芯谷’,直接参与光刻机的集成调试,不知道渊渟能否提供相应的工作和生活保障?”

“不仅能保障,还要给最优待遇!”林渊当即承诺,“我们已经在‘芯谷’规划了‘科研人才社区’,为入驻的专家提供拎包入住的精装公寓,配备子女教育、医疗保障等全套服务。科研人员的薪酬将采用‘双轨制’,既保留原单位的编制和待遇,渊渟再额外发放不低于原薪酬50%的岗位补贴。”他补充道,“我们还会建立‘人才交流机制’,渊渟的工程师可以到中科院的实验室学习深造,中科院的科研人员也能参与产业化项目,实现双向赋能。”

当天下午,各单位就签订了12项联合研发协议,覆盖了半导体设备的核心产业链。最引人注目的是“光刻机核心技术联合攻关项目”,由中科院光电技术研究所牵头,联合清华大学、华中科技大学等8家单位组成攻关小组,投入总经费达12亿美元,目标是18个月内完成28纳米dUV光刻机的全自主化研发,3年内突破14纳米工艺。

协议签订后的第二天,首批高校科研团队就进驻了“芯谷”临时研发中心。复旦大学的李教授带着团队一到江城,就直奔海市新阳的光刻胶生产车间。看着车间里正在调试的提纯设备,李教授眉头微皱:“现有设备的精馏塔高度不够,无法实现多轮次提纯,这是纯度上不去的关键。”他当即画出新的设备改造图纸,“需要将精馏塔高度从15米提升到25米,同时增加三层过滤膜,这样才能达到99.99%的纯度要求。”

林渊得知后,立刻安排张磊调拨2000万元资金,联系设备厂家进行定制改造。为了加快进度,他还协调江城政府开通了“重点项目设备运输绿色通道”,确保改造所需的特种钢材和精密部件能在3天内到位。“科研攻关不能等,我们要创造一切条件,让专家们没有后顾之忧。”林渊在设备改造现场对工作人员强调道。

人才联合培养是此次合作的另一项重点。10月28日,林渊与华中科技大学、清华大学等5所高校签署了“半导体人才联合培养协议”,共同开设“半导体设备工程”“微电子材料”等特色专业。协议约定,高校负责理论教学,渊渟资本提供实践基地和企业导师,学生从大二年级开始进入“芯谷”实习,优秀毕业生可直接获得研发岗位录用通知。

“我们不仅要培养研发人才,还要培养能解决实际问题的工程技术人才。”林渊在签约仪式上表示,“渊渟将设立每年1亿元的‘半导体人才奖学金’,资助家庭困难的优秀学生,同时为参与实习的学生提供每月5000元的生活补贴。对于取得重大科研成果的学生团队,我们还会提供创业启动资金,支持他们将成果转化为产品。”

首批参与联合培养的500名学生,在11月初就来到了“芯谷”实习。来自华中科技大学的大三学生陈宇,被分配到了光刻机研发团队,跟着陈研究员学习光学系统调试。第一次参与设备测试时,他发现激光光斑的分布存在微小异常,虽然误差只有0.001毫米,但可能影响刻蚀精度。他大胆地向陈研究员提出了自己的看法,并用专业软件进行了模拟验证。

陈研究员对这个年轻学生刮目相看,立刻组织团队进行排查,最终发现是光学镜片的安装角度存在偏差。经过调整后,光刻机的良率提升了0.5个百分点。林渊得知后,亲自来到研发中心,为陈宇颁发了“新锐创新奖”,并奖励10万元奖学金:“半导体产业的未来在年轻人身上,我们要给年轻人敢于质疑、勇于创新的平台,这样才能不断突破技术瓶颈。”

联合研发的推进并非一帆风顺。11月中旬,“刻蚀机精密轴承加工”项目遇到了瓶颈。浙江大学的团队采用传统的磨削工艺,生产的轴承精度始终达不到0.0005毫米的要求,良率只有40%。项目负责人周教授急得嘴上起泡:“我们已经尝试了多种工艺参数调整,良率还是上不去,再这样下去,就要错过既定的节点目标了。”

林渊得知后,立刻联系了哈尔滨工业大学的赵教授团队。哈工大在超精密加工领域有深厚的积累,之前研发的“磁流变抛光技术”能将零件精度控制在0.0001毫米以内。林渊邀请赵教授带队前来江城,与浙江大学的团队联合攻关。经过一周的技术研讨,双方确定了“磨削 磁流变抛光”的复合工艺方案,不仅将轴承精度提升到了0.0003毫米,良率也提高到了85%。

“协同攻关的意义就在于此,把各个单位的优势整合起来,形成1 1>2的效果。”林渊在项目复盘会上说,“为了鼓励这种跨单位合作,我们将设立‘协同创新奖’,对表现突出的联合团队发放额外奖金。同时,建立‘技术难题共享平台’,将无法解决的问题公开,面向所有联盟成员征集解决方案。”

国际巨头的技术封锁也在倒逼国内科研资源的整合。11月底,ASmL联合国际标准化组织,宣布修改半导体设备的技术标准,将光刻机的激光波长精度要求提高了20%,试图通过标准壁垒遏制国产设备的研发。这个消息传来,正在进行光刻机光源调试的中科院团队陷入了困境——现有设备无法达到新的波长精度要求,之前的研发成果面临作废的风险。

林渊立刻组织紧急会议,邀请所有联合研发单位的核心专家共同商议。会上,华中科技大学的王教授提出了一个大胆的设想:“我们可以采用‘波长锁定技术’,通过AI算法实时调整激光的输出波长,虽然会增加设备的复杂度,但能在现有硬件基础上满足新的标准要求。”这个想法得到了华维AI团队的支持,他们表示可以在两周内完成算法的开发和调试。

为了加快进度,林渊协调中科院提供光源技术参数,华维负责算法开发,华中科技大学负责系统集成,三方团队在“芯谷”成立了临时联合工作室,实行24小时轮班作业。经过15天的日夜攻关,终于完成了“波长锁定系统”的研发,使光刻机的激光波长精度达到了新标准的要求,甚至比ASmL的设备还要高出5%。

这个突破让国际巨头始料未及。ASmL的cEo彼得·温宁克在内部会议上坦言:“龙国企业的技术整合能力超出了我们的预期,单纯通过标准封锁已经无法遏制他们的研发进度。我们必须加快EUV光刻机的量产,才能保持市场优势。”而此时,渊渟资本已经联合国内企业,开始着手制定龙国自己的半导体设备技术标准,争取在未来的国际竞争中掌握话语权。

资金的高效运转是联合研发的保障。张磊建立了“联合研发资金监管平台”,对每一笔经费的使用情况进行实时监控,确保资金全部用于研发环节。平台还设置了“成果公示”模块,每个项目的进展和经费使用情况都向所有合作单位公开,接受大家的监督。“截至11月底,我们已经拨付了25亿美元研发资金,其中90%都用于设备采购和技术攻关,没有出现一笔违规使用的情况。”张磊在月度资金汇报会上向林渊和各合作单位代表汇报。

12月初,联合研发迎来了首个重大突破:复旦大学李教授团队研发的“光刻胶光敏剂提纯技术”通过了量产验证,纯度达到99.99%,成本比进口产品低40%。海市新阳的生产线在采用该技术后,光刻胶的良率从88%提升到95%,年产量可满足5条28纳米晶圆生产线的需求。比雅迪、华维等下游企业纷纷发来采购订单,仅12月上旬就接到了15亿元的订单。

这个突破极大地鼓舞了所有联合研发团队的士气。浙江大学的周教授团队加快了精密轴承的量产进度,12月中旬就完成了首批1000套轴承的生产,经测试,各项指标均达到进口产品水平,成本降低了35%。中微公司的刻蚀机在采用国产轴承后,稳定性进一步提升,连续运行100小时的良率波动控制在1%以内,超过了进口刻蚀机的水平。

12月20日,林渊在“芯谷”产业园举行了“联合研发成果发布会”,向外界展示了光刻胶、精密轴承、激光光源等10项核心技术成果。发布会上,林渊宣布了一个重磅消息:“渊渟资本将联合所有合作单位,发起设立‘半导体技术转化基金’,规模50亿美元,专门用于将实验室的研发成果转化为产业化产品。基金将优先投资联合研发团队的创业项目,为技术转化提供全链条支持。”

发布会引起了国内外的广泛关注。《人民日报》在报道中称:“这种‘企业牵头、高校支撑、科研协同’的研发模式,为我国核心技术突破提供了成功范例,‘芯谷’已经成为龙国半导体产业自主化的‘发动机’。”路透社则评论道:“龙国在半导体核心材料和零部件领域的突破,将打破全球供应链的格局,ASmL、应用材料等国际巨头的市场份额将面临严峻挑战。”

然而,林渊并没有被眼前的成绩冲昏头脑。他在内部会议上强调:“现在的突破只是‘点’上的突破,我们要实现‘面’上的覆盖,让所有核心设备和材料都实现自主化。‘伏羲实验室’的建设已经进入收尾阶段,下个月就要正式挂牌,我们要以此为契机,整合所有联合研发力量,向EUV光刻机、5纳米刻蚀机等更高难度的技术发起冲击。”

12月底,“伏羲实验室”的园区建设基本完成。500亩的园区内,不仅建有12个专业研发车间、8个国际一流的实验室,还配备了人才公寓、国际学校、三甲医院等配套设施。中科院、清华大学等合作单位的首批200名核心研发人员已经陆续入驻,带来了近百台先进的研发设备。华维、中微公司等企业也在实验室设立了联合研发中心,将最新的产品原型拿到实验室进行测试优化。

林渊在实验室的挂牌筹备会议上,明确了实验室的管理模式:“实验室实行‘理事会领导下的主任负责制’,理事会由所有合作单位的代表组成,每年召开两次会议,决定实验室的重大事项;主任由我担任,负责日常运营管理;各专项研发团队实行‘项目经理制’,拥有充分的研发自主权。”他特别强调,“实验室要打破‘论文至上’的传统观念,以产业化成果为导向,所有研发项目都要明确量产时间表和市场目标。”

2015年1月5日,“伏羲实验室”的挂牌仪式在江城隆重举行。工信部、科技部的领导,各合作高校和科研机构的代表,以及国内半导体行业的企业家们齐聚一堂。当林渊和唐老共同为“伏羲实验室”揭牌时,现场响起了雷鸣般的掌声。唐老在致辞中说:“‘伏羲’是中华民族的人文始祖,代表着创新和智慧。命名‘伏羲实验室’,寓意着我们要依靠自己的智慧,开创龙国半导体产业的新纪元。”

挂牌仪式结束后,林渊带领嘉宾们参观了实验室。在光刻机研发车间,嘉宾们看到工作人员正在调试最新的国产光刻机原型机,屏幕上显示的刻蚀线宽精度达到0.11微米,良率稳定在94%。陈研究员介绍道:“这台原型机的国产化率达到了99%,除了少数标准螺丝,其他所有部件都是我们自己研发生产的。预计3个月内就能完成量产调试,正式投入使用。”

在人才培养中心,嘉宾们看到500名联合培养的学生正在进行实操训练,他们操作的都是最先进的国产设备。华中科技大学的李校长感慨道:“以前我们的学生毕业后面临‘纸上谈兵’的问题,现在有了‘伏羲实验室’这个平台,学生们能亲手参与核心设备的研发,培养出来的人才肯定能快速适应行业需求。”

参观结束后,林渊在实验室的会议室召开了首次理事会会议。会上,各合作单位代表共同确定了实验室的三大研发方向:一是28纳米工艺设备的规模化量产技术,二是14纳米工艺设备的研发攻关,三是EUV光刻机的基础研究。林渊宣布,实验室将在未来3年内投入100亿美元研发资金,确保三大方向的研发任务顺利推进。

会议结束时,林渊站在会议室的窗前,看着外面飘扬的五星红旗,心中充满了坚定。联合国内高校和研究机构,成立“伏羲实验室”,只是自主研发道路上的又一个起点。他知道,接下来的研发之路会更加艰难,国际巨头的打压也会更加猛烈,但他更相信,只要所有科研工作者齐心协力,依托“产学研用”协同创新的强大合力,龙国半导体产业一定能打破垄断,实现真正的自主可控。而实验室成立后的第一个挑战,就是攻克14纳米刻蚀机的核心技术,为后续的光刻机量产奠定基础。

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