2014年4月15日清晨,江城“芯谷”产业园的国产光刻机研发中心刚开启早班调试,陈研究员的手机就急促地响了起来。电话那头,中微公司采购部经理的声音带着哭腔:“陈老师,出事了!应用材料突然发函,说要终止我们的刻蚀机核心零部件供应合同,原本下个月交付的10套高精度轴承,现在说什么都不发了!”
这个消息像惊雷般在研发中心炸开。高精度轴承是刻蚀机主轴的核心部件,直接决定设备的运行精度和稳定性,国内目前尚无企业能生产出符合要求的产品。陈研究员不敢怠慢,立刻拿着终止函冲进了林渊的临时办公室。此时,林渊的桌上已经堆着三份类似的函件——泛林半导体终止了薄膜沉积设备的技术支持协议,东京电子暂停了离子注入机的备件供应,就连提供光刻胶原材料的德国巴斯夫,也突然宣布“因供应链调整”暂停对华发货。
“不是简单的维护禁令,是全面断供。”林渊指着函件上的统一措辞,脸色凝重,“所有函件都提到‘遵循相关国家出口管制政策’,落款日期都是4月14日,显然是提前串通好的。”他刚说完,海因茨博士推门而入,手里拿着一份国际半导体设备与材料协会(SEMI)的公告,公告显示:A**L、应用材料、泛林半导体等12家国际巨头联合成立“半导体设备供应链安全联盟”,对“受出口管制的国家和地区”实施“核心设备及零部件、技术服务全面管控”,渊渟资本及其配套企业被明确列入管控名单。
联盟的管控范围远超预期:不仅包括未交付的设备和零部件,还涵盖了已交付设备的软件升级、故障维修、技术培训等所有服务;甚至禁止其授权的第三方企业提供相关服务。海因茨博士翻到公告附件,指着其中一条说:“最狠的是这条——禁止联盟企业向任何与渊渟有合作的第三方供货,海市新阳之前向巴斯夫采购的光刻胶原材料,就是因为这个条款被断供的。”
连锁反应迅速蔓延。上午10点,中环股份的大硅片车间突然停工——从米国应用材料采购的抛光机主轴出现异响,企业联系售后时,对方明确表示“因联盟规定,无法提供维修服务”。紧接着,海市新阳的光刻胶生产线也被迫暂停,巴斯夫的原材料断供导致生产线面临“无米之炊”。陈曦在产业链协调会上接到一连串紧急电话,声音都带着颤抖:“林总,已有8家配套企业因为断供停工,剩下的24家也面临零部件或原材料短缺,最多只能维持15天生产。”
更致命的打击来自晶圆厂的核心设备采购。除了A**L的光刻机,渊渟资本还向泛林半导体采购了12台薄膜沉积设备,其中6台已支付预付款共计8亿美元,原本约定5月交付。如今泛林半导体不仅终止合同,还拒绝退还预付款,理由是“渊渟违反了隐含的‘合规义务’”。张磊拿着财务报表赶来:“加上之前A**L扣下的3亿美元,我们已经损失了11亿美元预付款。更严重的是,核心设备缺口达18台,就算现在找替代供应商,也至少需要12个月才能交付。”
消息很快传到资本市场,渊渟资本的股价在港股市场单日暴跌15%,创下上市以来最大跌幅。多家国际投行下调评级至“卖出”,高盛的最新研报将目标价下调40%,称“国际设备巨头的联合打压,可能导致‘芯谷’项目延期2-3年,投资回收期从10年延长至15年以上”。董事会的紧急电话会议上,刘建国的声音再次变得尖锐:“我早就说过依赖进口设备风险太大!现在好了,11亿美元打水漂,项目停滞,我们该怎么向股东交代?”
唐老在会议上极力稳定局面:“大家冷静,现在不是追究责任的时候。我已经向工信部汇报了情况,部里正在协调外交部与米国商务部沟通,同时启动了国家半导体应急保障机制。但我们必须做好长期斗争的准备,不能把希望寄托在外部协调上。”他转向林渊,“林总,你最了解项目情况,说说你的应对方案。”
林渊早已在脑中梳理了应对思路:“首先,启动法律诉讼。我们已经聘请了国际顶尖的律师事务所,就A**L和泛林半导体的违约行为提起仲裁,要求退还预付款并赔偿损失;其次,盘点现有资源,将所有已交付设备的零部件进行登记,建立应急调配机制;最重要的是,加快国产替代进程,把之前的‘备用方案’升级为‘主方案’。”他打开共享屏幕,展示出一份《国产设备替代清单》,“我们已经筛选出15类核心设备和28种关键零部件,明确了替代研发的优先级和责任单位。”
但现实的困难远超清单上的文字。海因茨博士补充道:“最大的难题是薄膜沉积设备和离子注入机。这两类设备的核心技术长期被泛林半导体和东京电子垄断,国内企业的研发还停留在实验室阶段,要实现量产级替代,至少需要18个月。而刻蚀机的高精度轴承,国内最好的产品精度也比进口差0.001毫米,直接影响刻蚀线宽的稳定性。”
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