2014年3月19日的江城,因为“芯谷”产业园的动工仪式,成为了全国科技界瞩目的焦点。龙国国家电视台(CNTV)新闻客户端的直播画面里,东湖新技术开发区的施工现场彩旗招展,礼炮轰鸣的瞬间,在线观看人数突破了500万。微博上,#江城芯谷动工#的话题迅速登上热搜榜首,短短两小时内阅读量就超过2亿,网友们的评论充满了对龙国芯片产业崛起的期待:“终于不用看国外脸色了,为渊渟资本点赞!”“希望‘芯谷’能早日造出我们自己的高端芯片!”
动工仪式的余温尚未消退,国内外媒体的报道就铺天盖地而来。《人民日报》在头版刊发评论员文章《“芯”火相传,硬核崛起》,称“芯谷”产业园的动工是“龙国半导体产业自主化进程中的里程碑事件,标志着我国从芯片设计到制造的全产业链布局进入实质性阶段”。路透社、彭博社等国际媒体也纷纷跟进,路透社的报道指出:“渊渟资本200亿美元的投资规模,创下了龙国半导体产业单笔投资纪录,这显示出龙国突破芯片技术封锁的坚定决心。”
林渊在仪式结束后接受了龙国国家电视台(CNTV)记者的专访,面对镜头,他从容阐述了“芯谷”的发展规划:“未来三年,我们将聚焦28纳米车载和工业控制芯片的规模化量产,同时攻坚DUV光刻机等核心设备的国产化。‘芯谷’不是一座孤立的工厂,而是一个涵盖研发、制造、封装测试、设备配套的完整产业生态,我们计划用十年时间,将这里打造成全球第三大半导体产业集群,与硅谷、台积电所在的新竹科技园形成三足鼎立之势。”
专访播出后,渊渟资本的股价在港股市场再次上涨5%,多家机构上调了目标价。高盛的最新研报认为:“渊渟资本已构建起‘芯片设计-制造-设备研发’的闭环布局,加上政府的强力支持和产业链的协同效应,项目成功概率远超行业平均水平,预计2016年量产后,年净利润将突破20亿美元。”
外界的赞誉和期待,转化为了团队前进的巨大动力。仪式结束后的第二天,施工团队就全面进入主体结构施工阶段。晶圆厂的净化车间采用了“双层壳体”设计,外层是抗地震烈度8级的钢结构,内层是厚度达0.5米的防辐射混凝土墙体,这种设计能有效隔绝外部环境对芯片制造的干扰。项目总工程师老张带着团队24小时轮班作业,每天召开进度协调会,确保每一道工序都符合设计标准。“净化车间的地基浇筑必须一次成型,混凝土的坍落度要精确控制在180±20毫米,我们安排了专人全程监控,确保工程质量零缺陷。”老张在施工现场对技术人员强调道。
研发端的进展同样喜人。“渊渟-华科芯片联合研究院”的临时办公区内,李校长带领的团队正在进行高精度激光发生器的中试调试。经过连续一周的优化,激光发生器的功率稳定性提升了10%,已经能满足刻蚀机的工艺要求。“我们通过改进谐振腔的结构设计,将激光的输出功率波动范围从±3%缩小到±1.5%,这已经达到了进口同类产品的水平。”负责中试的陈研究员兴奋地向林渊汇报,“再过两周,我们就能完成中试,开始批量生产,正好能赶上国产刻蚀机的组装进度。”
国产刻蚀机的组装车间里,中微公司的工程师们正在进行最后的调试。这台凝聚了中微、渊渟和华中科大三方技术结晶的设备,国产化率达到了82%,比最初的设计目标提高了7个百分点。海因茨博士拿着测试报告,对林渊说:“昨天的试生产数据非常理想,刻蚀的线宽精度达到0.13微米,比设计指标高出0.01微米,良率稳定在91%。就算没有A**L的光刻机,我们用国产设备组合,也能实现28纳米芯片的量产,只是效率会比用A**L设备低15%。”
效率的差距意味着成本的上升,但能在没有进口核心设备的情况下实现量产,已经是巨大的突破。林渊鼓励道:“效率问题可以通过工艺优化逐步解决,现在最重要的是建立自主的生产能力。赵宇,你牵头成立工艺优化小组,联合AI团队开发智能调度系统,把国产设备的效率提升上来,争取把差距缩小到10%以内。”
产业链配套企业的建设进度也在同步加快。海市新阳的光刻胶生产基地已经完成了主体结构封顶,正在进行净化车间的装修;中环股份的大硅片车间安装了国内首条全自动抛光生产线,预计4月底就能进行试生产;封装测试企业长电科技的江城分公司也正式动工,计划与晶圆厂同步投产。陈曦每天都要往返于各个配套企业的施工现场,协调解决水电供应、资质办理等问题:“目前32家入驻企业中,有18家已经进入设备安装阶段,按照这个进度,2015年第一季度就能形成完整的产业链配套能力。”
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