院士重生，一架战鹰惊世界 第171章 光刻机计划

程实放下资料，语气坚定：“设备改造是关键，核心部件咱们可以想办法通过黑市渠道采购。

实在不行，就自己研发替代产品。

车间改造也迫在眉睫，必须建成无尘防静电车间，这是芯片生产的基础。”

他顿了顿，继续说道：“以前咱们买大熊国的客机，他们处处留一手，设备坏了请他们来修，不仅要花大价钱。

还不让咱们的技术人员靠近，生怕咱们学了他们的技术。

芯片产业也是一样，西方对咱们封锁得严严实实，想要不被卡脖子，只能自力更生。”

王志和谢三元深有感触地点点头。王志叹了口气：“可不是嘛！去年咱们从大熊国进口了一批电子设备，坏了一个小零件。

他们派来两个专家，吃住都要最好的，一天就要收上千米元，修的时候还把设备围得严严实实，咱们的技术人员想多看一眼都不行。”

“这就是没有自主技术的苦处。” 谢三元也愤愤不平，“他们就是觉得咱们离不开他们，才敢这么嚣张。现在有了程实同志你，咱们终于有机会摆脱他们的控制了！”

程实看着两人激动的神情，心里更加坚定了信念：“放心，只要咱们齐心协力，一定能造出属于咱们自己的芯片。

国外能做到的，咱们也能做到，而且要做得更好！”

程实和王志、谢三元一直在讨论芯片生产线的问题，从设备改造到车间建设，从材料采购到人员培训，每个细节都不放过。

会议室里坐满了人，人们都想在程实这里学到一些真正有理论的有技术的知识。

而且他们都知道程实是个什么样了不起的人物，所以特别重视与程实的交谈。

长条桌上早已摆满了图纸和资料。程实坐在主位，拿起笔，直接切入正题：“首先说设备改造。

光刻机是芯片生产的核心设备，目前咱们手里的没有光刻机，也只能生产一些性能比较低的芯片。

所以要生产高精端芯片，必须要有自己的高精密的光刻机，而且要把精度提高到 0.1 微米以下。”

他在黑板上画了一个简单的示意图：“关键是要改进光源系统和物镜系统，光源换成深紫外光，物镜要采用多层镀膜技术。

这样才能把精度提高到 0.1 微米以下。

还有蚀刻机，要采用等离子体蚀刻技术，提高蚀刻的均匀性和精度。”

一位头发花白的老专家推了推眼镜，疑惑地问：“程实同志，深紫外光光源和多层镀膜物镜，国内都没有相关技术，咱们能做出来吗？”

“能。” 程实肯定地点头，“我已经设计了详细的图纸，电科所的精密机械车间可以加工零件，光学部件可以和上海光学仪器厂合作研发。

虽然难度大，但只要按图纸要求做，一定能成功。”

他拿出一份设备改造清单，递给王志：“这是需要改造的设备清单和具体参数，每个设备的改造方案都写得很清楚，你们按这个来，有不懂的地方随时问我。”

“因为蚀刻机老旧的当然可以先使用起来，等以后咱们建造了属于自己的蚀刻机和光刻机，就可以完全自主了。”

众人纷纷点头，他们也知道之所以讨论这两个高科技产品，因为光刻机是制作芯片的主要的设备。

一些高精度的设备，必须要有高精度的光刻机制作出来。

王志接过清单，快速翻阅，越看越震惊。清单上不仅有详细的改造步骤，还有每个零件的尺寸、材质要求，甚至连工具的使用方法都写得明明白白，简直就是一本操作手册。

“程实同志，你考虑得也太周全了！” 王志忍不住赞叹，“有了这份清单，咱们的改造工作就能少走很多弯路。”

程实笑了笑，继续说道：“接下来是材料问题。光刻胶咱们可以和北京化学试剂研究所合作研发，掩膜版可以委托申城光学仪器厂制作。

还有硅片，国内生产的硅片纯度不够，需要改进提纯工艺，我已经写了一份硅片提纯的技术方案，等会儿交给谢厂长。

只要前期工作做完了，完成本期所需要的产品，后期我们有的是时间去制作光刻机！”

谢三元连忙点头：“太好了！硅片纯度一直是咱们的短板，有了你的方案，咱们一定能解决这个问题。”

程实又看向众人：“芯片生产是一个系统工程，每个环节都不能出错。

从硅片制备到晶圆制造，从光刻蚀刻到封装测试，每个步骤都有严格的要求。

我已经把每个环节的工艺参数和质量控制标准都整理好了，大家一定要严格遵守。”

他拿出一叠厚厚的工艺文件，分发给众人：“这是详细的工艺手册，里面包括每个步骤的操作流程、参数设置、常见问题及解决方法。

大家回去后仔细研究，有疑问的地方我们再集中讨论。”

专家们接过工艺手册，纷纷翻阅起来，会议室里只剩下纸张翻动的声音。

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