2017年10月8日,国庆长假后的第一个工作日,京市国际会议中心的广场上彩旗招展。“龙国半导体产业链自主化成果展暨联盟成立大会”在这里隆重举行,伏羲实验室、中芯国际、华维等200多家产业链企业齐聚一堂,共同见证龙国半导体产业历史性的一刻。林渊作为联盟理事长,站在会场入口迎接前来参会的嘉宾,他胸前的“伏羲功臣”奖章在阳光照耀下熠熠生辉——这枚奖章不仅是个人荣誉,更是整个产业链协同攻坚的见证。
上午9点,大会正式开幕。工信部部长在致辞中举起一枚封装完整的芯片:“这枚7纳米芯片,从EDA设计软件、光刻胶、靶材,到刻蚀机、光刻机、校准设备,全流程128个环节,没有使用任何米国技术和零部件,是真正的‘龙国芯’!它的诞生,标志着我国半导体全国产供应链已经初具规模,彻底打破了国外的技术封锁。”台下响起雷鸣般的掌声,不少老工程师激动得热泪盈眶,他们深知,为了这一天,龙国半导体人奋斗了整整三十年。
成果展现场,一条长达50米的“供应链长廊”成为全场焦点。长廊两侧依次展示着从芯片设计到封装测试的全流程设备和材料:苏州瑞红的14纳米光刻胶装在透明试剂瓶中,瓶身标注着“良率99.2%,超越进口同类产品”;沈阳机床生产的刻蚀机零部件整齐排列,旁边的屏幕实时播放着零部件加工的精度数据;中芯国际的12英寸晶圆上,密密麻麻的芯片纹路清晰可见,工作人员介绍说:“这枚晶圆可切割出800枚7纳米芯片,良率达到99%,比使用进口设备时还高1个百分点。”
最引人注目的是EUV光刻机的原型机展台。这台由伏羲实验室联合中科院光电所研发的光刻机,主体采用国产碳纤维材料,核心反光镜表面粗糙度控制在0.08纳米,激光光源功率达到150瓦,完全满足7纳米芯片的生产要求。研发负责人张博士向嘉宾介绍:“这台光刻机整合了10万多个国产零部件,其中23个核心部件之前完全依赖进口,现在我们全部实现了自主研发。虽然在量产效率上比A**L的最新机型低20%,但成本只有对方的三分之一。”
联盟成立仪式上,林渊作为理事长发布了《龙国半导体产业链发展白皮书》,明确了未来三年的发展目标:“2018年实现供应链国产化率90%,产能提升至每月50万片晶圆;2019年突破5纳米工艺,进入全球半导体产业前三;2020年实现EUV光刻机量产,全面反超国际同行。”白皮书发布后,200多家联盟企业现场签订了《协同发展协议》,约定共享技术专利、共建人才基地、共担研发风险,形成“一荣俱荣,一损俱损”的产业生态。
大会结束后,林渊马不停蹄地赶往中芯国际的亦庄生产基地。这里是全国产供应链的“试金石”,三条搭载全套国产设备的生产线正在满负荷运转。生产总监赵工带着林渊走进洁净车间,透过玻璃窗,只见国产刻蚀机、光刻机等设备有条不紊地运行,机械臂精准地抓取晶圆,整个生产过程全程自动化。“林总,您看这个数据面板。”赵工指着墙上的大屏幕,“三条生产线每月可生产15万片14纳米晶圆,良率稳定在99%,生产成本比进口线低30%。上个月我们接到了18万片的订单,现在正在扩建第四条生产线。”
在封装测试车间,林渊看到工人正在操作国产封装设备,将芯片与电路板组装在一起。负责人介绍说:“这套封装设备是长电科技研发的,支持 Chiplet 先进封装技术,能将多枚芯片集成在一起,提升芯片的算力和功耗控制。之前我们只能依赖台积电的封装技术,现在不仅实现了自主,还申请了12项专利。”林渊拿起一枚封装好的“伏羲”车规级芯片,掂了掂分量:“这枚芯片要送到比雅迪的工厂,下周就要进行装车测试,一定要严格把控质量。”
供应链的成熟不仅体现在生产端,更体现在配套服务的完善上。10月15日,伏羲实验室联合国内多家金融机构,成立了“半导体产业金融服务平台”。平台推出了“研发贷”“设备租赁”“订单融资”等定制化金融产品,为中小供应商提供资金支持。苏州瑞红通过平台获得了2亿元研发贷,用于建设28纳米光刻胶生产线;江丰电子凭借与中芯国际的长期订单,获得了5亿元设备租赁授信,产能提升了一倍。“之前我们因为资金不足,很多研发项目都不敢启动。”苏州瑞红董事长感慨道,“现在有了金融平台的支持,我们终于可以放开手脚搞研发了。”
人才培养体系也同步完善。10月20日,“半导体英才班”在清华大学正式开班,首批50名学生来自芯片设计、设备研发等专业。林渊作为客座教授,给学生们上了第一堂课:“龙国半导体产业的未来,就掌握在你们手中。我们为每个英才班学生提供每年10万元的奖学金,在校期间可进入伏羲实验室参与实际研发项目,毕业后直接获得年薪30万元的工作offer。”课堂上,学生们踊跃提问,当有人问“如何面对国外的技术封锁”时,林渊回答:“最好的应对就是自主创新,当我们的技术比他们更先进时,封锁自然就失效了。”
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