重生90：从工业母机开始 第147章 影青入画，魔鬼细节

中科院化学所的支援速度，快得令人咋舌。

就在李晓宇那通电话打完后的第三天，刘所长便亲自带着一支由三十名高分子化学、精细化工领域的顶尖专家组成的“化学军团”，风尘仆仆地赶到了江州。

他们带来的，不仅是那个年代国内最珍贵的实验仪器和试剂，更带来了中国化学界几十年来，在感光树脂领域默默耕耘所积累下来的，厚重的技术底蕴。

“李总工，人我给你带来了。只要能造出光刻胶，别说是没日没夜，就是让我们喝试剂，我们也不皱一下眉头！”刘所长一见面，就立下了军令状。

“影青”计划，在“金陵中心”的一间新建成的，拥有最高洁净等级的化工实验室内，正式启动。

然而，摆在这群化学专家面前的第一个拦路虎，并不是复杂的配方，而是一个，在他们过去的概念里，几乎被忽略的指标——纯度。

“金属离子含量，必须控制在ppb（十亿分之一）级别？”

看着李晓宇给出的技术标准，一位老教授扶了扶眼镜，满脸的不可置信，“这……这要求太苛刻了！我们平时的试剂，能做到ppm（百万分之一）就算高纯了。ppb……那就像是在一个标准游泳池里，不能有一粒盐啊！”

李晓宇点了点头，语气严肃。

“没错，就是这么苛刻。因为光刻胶是直接接触芯片表面的材料。任何一个微小的金属离子污染，都会导致晶体管漏电，让整块芯片报废。这就是半导体级化学品，与普通化工品的本质区别！”

为了打赢这场“纯度战争”，李晓宇再次展现了他那超越时代的工程设计能力。

他没有让大家去盲目提纯，而是亲自设计了一套，从原料预处理，到反应合成，再到最终过滤灌装的，全封闭、全自动化的超纯生产线。

在这条生产线上，所有的管道、阀门、储罐，全部采用了昂贵的特氟龙（ptFE）材料，以杜绝任何金属离子的析出。

所有的操作人员，都必须穿戴全封闭的，自带呼吸系统的“宇航服”式防尘服，经过三道风淋和除静电程序，才能进入核心区。

这哪里是化工厂，这简直就是生化危机的实验室！

在这样一种近乎于“洁癖”的严苛环境下，专家们开始了艰苦的攻关。一次次失败，一次次调整配方，一次次检测离子含量……

终于，在经历了三个月的地狱般折磨后。

第一瓶，呈现出淡青色透明状，金属离子含量被死死压在10ppb以下的，国产G线正性光刻胶——“影青一号”，在无尘室柔和的黄光下，诞生了！

而就在“影青”突围的同时，隔壁的微电子研究院里，贺云飞和他的团队，也在经历着另一场“魔鬼细节”的考验。

光刻机的“心脏”——投影物镜系统，其装配难度，甚至超过了设计本身。

二十多片，形状各异，材质不同的高精度透镜，需要被极其精准地，同轴安装在一个长达一米的镜筒里。

“不行！还是有像差！”贺云飞看着干涉仪上的波面图，急得直拍大腿，“每一片透镜的单体精度都够了，但是装在一起，误差就累积放大了！同轴度偏差了0.5微米，这就足以让0.8微米的线条模糊成一团！”

这是精密光学装配中，最令人头疼的“累积误差”问题。也是制约中国光学镜头迈向高端的死结。

李晓宇闻讯赶来。他没有去调整镜片，而是仔细观察了那个沉重的金属镜筒。

“贺工，问题可能出在‘硬碰硬’上。”

他指着镜筒与透镜座的连接处，“传统的刚性连接，会让镜筒加工的微小误差，直接强加给透镜，导致透镜变形。我们，需要一点‘柔性’。”

他拿起笔，在图纸上，画出了一个特殊的结构。

他在镜筒的内壁，设计了一圈微小的，如同弹簧般的“柔性铰链”结构。

“我们利用金属的微小弹性变形，来吸收和补偿装配误差。就像我们古建筑里的榫卯结构，看似松动，实则稳固，且能自动适应应力变化。”

“这叫——柔性支撑技术！”

贺云飞看着那个巧妙的设计，眼睛瞬间亮了！

“妙！太妙了！以柔克刚，化整为零！我怎么就没想到！”

经过改进后的镜筒，再次进行装配。

这一次，奇迹发生了。

当最后一片透镜安装到位，干涉仪上的波面图，呈现出了完美的同心圆！像差，被成功控制在了衍射极限以内！

第一套合格的投影物镜系统，终于组装完成！

所有的拼图，终于凑齐。

在一个激动人心的夜晚，“神光一号”光刻机的主机，第一次被完整地组装了起来。

光源系统启动，深紫色的紫外光，经过匀光系统，穿过掩膜版，进入了那套昂贵的物镜系统。

在“女娲”系统的精准控制下，在“龙渊”工件台的平稳移动中。

那束光，最终，精准地聚焦在了一片，涂满了“影青一号”光刻胶的硅片之上。

曝光！显影！

当那片硅片，被放到高倍电子显微镜下时。

贺云飞，这位为中国光刻机事业奋斗了半辈子的老人，颤抖着手，调节着焦距。

视野逐渐清晰。

一条条，边缘锐利，线条笔直，宽度只有0.8微米的电路图案，如同大地上的沟壑，清晰地，展现在了他的眼前！

没有断裂，没有毛刺，没有粘连！

完美！

贺云飞猛地抬起头，泪水，早已模糊了他的双眼。

他看着身边的李晓宇，看着周围那些同样激动得泣不成声的年轻人们，用一种，仿佛用尽了全身力气的声音，颤抖着说道：

“我们……看见了……”

“我们看见了，微观世界的……长城！”