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小米阅读 > 都市 > 重生90:从工业母机开始 > 第146章 三院鼎立,神光初现

1993年的冬天,对于江州“工业长城”基地来说,是一个充满了变革与希望的季节。

几辆满载着设备和行李的大巴车,缓缓驶入了园区。

车上坐着的,正是贺云飞和他那支,在上海坚守了数年,如今终于等来了春天的光刻机研发团队。

当贺云飞走下车,看着眼前那座气势恢宏的研发大楼,看着那一栋栋崭新明亮的专家公寓,以及远处那连绵成片,日夜轰鸣的现代化厂房时。

这位受尽了冷遇和经费短缺之苦的老专家,眼眶湿润了。

“贺工,欢迎回家。”李建国热情地迎了上去,握住他的手,“房子都安排好了,实验室也准备就绪。在这里,您只需要操心一件事——技术。其他的,交给我们!”

贺云飞重重地点了点头。他知道,从今天起,他和他的团队,终于有了一个,可以安心铸剑的家。

为了迎接这支“新军”,李晓宇再次对“工业长城”的组织架构,进行了一次重大的战略调整。

在随后召开的全体扩大会议上,他正式宣布:

成立**“微电子装备研究院”**!

由贺云飞担任首任院长,张承平院士担任首席科学家。

至此,以秦振华领导的“精密制造总院”、林涛领导的“算法与软件研究院”,以及新成立的“微电子装备研究院”为核心的,“三院鼎立”的宏大战略格局,在“工业长城”正式成型!

这三大支柱,如同一只巨大的鼎,稳稳地托起了中国未来高端工业的脊梁。

“神光”计划,在这个全新的架构下,立刻进入了快车道。

在第一次技术路线研讨会上,李晓宇面对着贺云飞、张承平以及数十位光学、电子、机械领域的顶尖专家,拍板定下了“神光一号”的技术指标。

“我们不能好高骛远,但也绝不能固步自封。”

李晓宇指着白板上的技术路线图,沉声说道。

“直接上深紫外(dUV)还不现实,我们的配套产业链还跟不上。但是,我们也绝不能再去搞那些落后的接触式光刻机。”

“我们要做的,是分步重复投影光刻机(Stepper)!”

“光源,采用我们自己能造的高压汞灯(G线)。分辨率目标,死死咬住0.8微米!这个精度,虽然比不上国际最顶尖的水平,但足够满足我们国家目前急需的,工业控制芯片和消费电子芯片的制造需求!”

“我们要先解决‘有无’的问题,再解决‘好坏’的问题!”

一场史无前例的“多兵种协同作战”,在李晓宇的指挥下,轰轰烈烈地展开了。

精密制造总院承担了“骨骼”的制造。秦振华调集了最精锐的力量,利用“盘龙母机”那恐怖的加工能力,为光刻机打造出了一个,重达数吨,但在微观层面却平整如镜的花岗岩基座和超精密导轨系统。

算法研究院承担了“神经”的连接。林涛带领着他的软件天才们,开始攻克光刻机最核心的控制难题——纳米级工件台对准算法。他们惊讶地发现,光刻机对运动精度的要求,竟然比五轴机床还要高出两个数量级!这对他们的算法架构,提出了前所未有的挑战。

而微电子研究院,则在贺云飞的带领下,向着光刻机的心脏——投影物镜系统,发起了决死冲锋!

每一天,实验室里都灯火通明。每一次数据的跳动,都牵动着无数人的心。

然而,就在“神光”初现曙光之时,外部的阴霾,却再次袭来。

日本通产省,那双一直盯着中国的阴鸷眼睛,终究还是察觉到了江州的异动。

虽然他们不知道“神光”的具体细节,但他们敏锐地意识到,中国正在试图染指半导体设备领域。

于是,一份新的禁运清单,毫无征兆地发布了。

这一次,他们禁运的,不再是设备,而是耗材——高端光刻胶!

没有光刻胶,光刻机就是一堆废铁。这,是真正的“断粮”战术!

消息传来,刚刚成立的微电子研究院里,气氛顿时凝重起来。

“这帮日本人,真是亡我之心不死啊!”一位年轻的研究员愤愤不平地说道,“光刻胶这种化学品,他们也要卡?”

贺云飞也是眉头紧锁。光刻胶的配方极其复杂,对纯度要求极高,国内目前只有低端的pcb用胶,根本无法满足0.8微米工艺的需求。

面对这突如其来的危机,李晓宇的脸上,却露出了一丝冷笑。

“封锁?禁运?这套把戏,他们还没玩腻吗?”

他站起身,走到了窗前,看着远处那片正在扩建的化工厂区。

“他们以为,卡住了光刻胶,就能卡死我们的光刻机?”

“太天真了。”

他转过身,拿起桌上的红色电话,直接拨通了中科院化学研究所所长的专线。

“喂,是刘所长吗?我是李晓宇。”

“我们的‘神光’计划,遇到了点小麻烦。日本人,断了我们的光刻胶。”

“对,就是那种。”

“我记得,你们所里,是不是有一个课题组,一直在搞感光树脂的研究?”

“好!那我们就启动备用方案!”

“代号——‘影青’!”

“我要你们,在一个月内,拿出我们自己的,G线正性光刻胶!”

放下电话,李晓宇看着一脸担忧的贺云飞,平静而坚定地说道:

“贺院长,您放心。”

“他们禁运什么,我们就造什么!”

“光刻机这么复杂的系统,我们都能造出来。难道,还怕那一瓶小小的胶水吗?”

“我们的征途,是星辰大海。任何绊脚石,都将被我们,一脚踢开!”

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