院士重生，一架战鹰惊世界 第174章 光刻成功

申城电科所车间内。

程实指着图纸上的关键部位：“生产这款芯片，首先要解决硅片提纯问题。

必须采用区熔法提纯，把硅片纯度提高到 99.% 以上，也就是 9 个 9 的纯度。

北京化学试剂研究所的光刻胶已经送来了，纯度没问题，大家放心用。”

一位负责芯片生产的专家问道：“程实同志，0.08 微米制程，咱们的光刻机能不能达到要求？”

“能。” 程实肯定地说，“咱们的光刻机采用 13.5 纳米极紫外光光源，数值孔径 0.55。

单次曝光分辨率就能达到 8 纳米，生产 0.08 微米的芯片完全没问题。而且它每小时能处理 400-500 片晶圆，效率很高。”

他拿起笔，在图纸上标注：“光刻环节，要采用多重曝光技术，确保电路图案的精度。

蚀刻环节，用等离子体蚀刻技术，控制好蚀刻深度和均匀性，不能有丝毫偏差。

镀膜环节，要采用原子层沉积技术，保证薄膜的厚度均匀和附着力。”

谢三元皱了皱眉：“这些工艺要求都很高，工人能熟练操作吗？”

“能。” 程实看向谢三元，“之前的培训不是白做的，而且我会在车间现场指导。

另外，生产过程中，必须严格控制车间环境，温度保持在 23℃±2℃，湿度 45%±5%，空气中的尘埃粒子数每立方米不能超过 100 个。”

他强调道：“这款芯片是雷达的核心，性能直接决定了雷达的探测距离和抗干扰能力，绝对不能出任何差错。

每一个环节都要进行三次检测，第一次是硅片提纯后检测，第二次是光刻蚀刻后检测，第三次是封装测试后检测，不合格的产品一律销毁，绝不允许流入下一道工序。”

一位年轻的工程师问道：“程实同志，射频组件需要的芯片和这个是同一款吗？还是需要单独生产？”

“是同一款芯片。” 程实回答，“这款 XJ-01 芯片既能作为雷达的核心芯片，也能用于射频组件。

只要批量生产这款芯片，就能同时解决两个问题。

另外，射频组件需要的其他零件。

元件五厂已经能生产，谢厂长，你安排人同步生产射频组件的其他零件，等芯片出来，立刻组装。”

谢三元连忙点头：“没问题！我现在就去安排，让车间同步生产射频组件的零件，确保芯片一到就能组装完成。”

程实看着众人，语气沉重而有力：“同志们，战鹰 1 号是国家重点项目，机载雷达更是战鹰 1 号的眼睛。

现在，国家需要我们，军队需要我们，我们必须在一个月内，把这款芯片生产出来，送到 101 所。”

他顿了顿，继续说道：“以前，西方列强卡我们的脖子，不让我们拥有先进技术，不让我们发展壮大。

现在，我们自己造出了光刻机，造出了超级计算机，还能造出高精端芯片。

这说明，只要我们团结一心，刻苦钻研，就没有我们做不到的事情！”

“我们一定全力以赴！” 所有专家和管理人员都站起身，眼神坚定，语气激昂。

“好！” 程实一拍桌子，“现在，会议结束。王志所长，你负责芯片生产的技术指导。

谢三元厂长，你负责车间管理和物资保障。

其他同志，各司其职，坚守岗位。从现在开始，芯片生产线 24 小时不间断生产，人歇机器不歇。

我会和大家一起，守在车间里，直到第一批芯片合格出厂。”

众人轰然应诺，立刻行动起来。

王志带着技术专家们直奔光刻机车间，开始调试设备，准备硅片提纯。

谢三元跑去元件五厂，安排射频组件零件的生产。

工人们也纷纷回到岗位，穿戴好防静电服，做好生产准备。

程实没有休息，他先去了硅片提纯车间。

看着工人们按要求启动熔炉，看着硅锭在高温下慢慢融化、提纯，他才放心地走向光刻机车间。

光刻机车间里，王志正带着工程师们调整设备参数。

程实走过去，仔细查看了光源系统和物镜系统，说道：“光源功率再调高 5%，确保深紫外光的强度足够。

物镜的焦距再微调一下，保证成像精度。”

工程师们立刻按要求调整，程实又叮嘱道：“光刻胶涂敷要均匀，厚度控制在 0.5 微米，涂敷后要进行前烘，温度 90℃，时间 60 秒。”

王志点点头：“都按你说的来，我们已经做了好几次试验，参数都摸透了。”

程实走到晶圆装载区，看着工人小心翼翼地把提纯后的硅片装到光刻机上，眼神专注。

他知道，每一个步骤都不能马虎，这关系到战鹰 1 号的成败，关系到国家的国防安全。

接下来的几天，程实几乎吃住都在车间里。他每天只睡四个小时，其余时间都在各个生产环节巡查指导。

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