2013年10月的海市,秋意渐浓,渊渟芯片产业园的设备调试车间内却暑气蒸腾。中微公司的首台国产刻蚀机刚完成吊装,王健博士带领的良率提升团队就围了上去,拿着精密仪器对设备参数进行校准。林渊穿着防静电服,站在人群中,目光紧盯着显示屏上的实时数据,额头上渗出细密的汗珠——这台设备的适配效果,将直接决定董事会上的承诺能否兑现。
“林总,离子注入剂量调整为每平方厘米5e15,角度偏差控制在0.5度以内,符合模拟测试的最优参数!”王健的声音带着一丝兴奋,他示意工程师启动试生产程序。晶圆从自动传送轨道缓缓送入刻蚀机,机械臂精准地完成定位,激光蚀刻的滋滋声在密闭车间内格外清晰。两个小时后,首片试生产的晶圆被取出,经过检测,芯片电路的线宽偏差仅为0.08微米,远低于设计阈值的0.3微米。
“良率初步检测结果:89.2%!”检测工程师的喊声让车间内瞬间爆发出欢呼声。林渊长舒一口气,这个数据虽然还未达到90%的阶段性目标,但已经远超进口设备调试初期的72%,更重要的是,这是在国产设备上实现的突破。他拍了拍王健的肩膀:“做得好!但不能松懈,我们要在12月底前稳定在90%以上,给董事会一个明确的答复。”
然而,挑战并未就此结束。当天下午,北方华创的技术团队带来了坏消息:其研发的薄膜沉积设备在连续工作4小时后,出现了薄膜厚度不均匀的问题,导致部分芯片的绝缘性能不达标,良率骤降至82%。“主要原因是设备的温度控制系统稳定性不足,进口设备的温度波动范围在±0.1℃,而我们的设备在长时间运行后,波动范围会扩大到±0.3℃。”北方华创的项目负责人李工满脸愧疚,“要解决这个问题,需要更换更精密的温控传感器,至少需要1个月时间。”
1个月的延误,意味着很可能无法在年底前达到90%的良率目标,刘建国等董事的质疑将再次卷土重来。林渊立刻召集联合攻关小组开会,海因茨博士提出了一个临时解决方案:“我们可以在设备运行过程中,通过AI算法实时监测温度变化,动态调整加热功率,将波动范围补偿到±0.15℃以内。虽然精度不如更换传感器,但能暂时满足良率要求,为传感器研发争取时间。”
这个方案需要硬科技研究院的AI团队与设备工程师协同攻关,难度极大。林渊当场拍板:“成立跨部门应急小组,AI团队负责算法开发,设备团队提供硬件参数支持,24小时轮班作业,务必在3天内完成方案落地。”他亲自挂帅组长,每天只睡4个小时,连续三天扎根在调试车间,协调解决算法优化与硬件适配的衔接问题。第三天凌晨,AI温控补偿系统成功上线,设备连续运行8小时后,温度波动范围稳定在±0.12℃,良率回升至89.8%。
就在技术团队全力冲刺时,刘建国带着独立监督委员会的成员突然到访产业园。“林总,我们接到匿名举报,说国产设备的良率数据存在造假,特意来现场核实。”刘建国的语气带着明显的质疑,他身后的审计师拿出了检测设备,要求对当天生产的晶圆进行随机抽样检测。林渊坦然应对:“欢迎监督,我亲自带你们去检测车间。”
在检测车间,审计师随机抽取了10片晶圆,经过3小时的精密检测,最终得出的平均良率为89.7%,与团队公布的数据完全一致。刘建国脸上闪过一丝尴尬,但仍不死心:“这只是短期数据,能稳定多久?而且据我所知,你们为了提升良率,每片晶圆的制造成本增加了8%,这算不算是数据造假?”
“成本增加是暂时的。”林渊拿出成本分析报告,“随着设备调试的成熟,AI温控系统的优化成本会逐步摊薄,预计1个月后成本就能回落至原水平。更重要的是,我们通过这次攻关,掌握了薄膜沉积的核心工艺参数,北方华创已经根据我们的经验,优化了传感器设计,下个月交付的改进型设备,成本将比进口设备低30%。”他指着车间里正在组装的第二台国产刻蚀机,“这台设备的国产化率已经达到75%,而进口设备的国产化率不足10%,这才是真正的核心价值。”
刘建国沉默不语,他不得不承认,国产设备的进展超出了预期。但离开产业园时,他仍留下话:“12月底的董事会,我会再次要求审计,希望到时候能看到稳定的90%良率。”林渊望着他的背影,对身边的赵宇说:“压力就是动力,我们必须在两个月内完成目标,不仅要证明项目的可行性,更要让所有人明白,掌握核心技术才是长久之道。”
为了加快进度,林渊做出了一个大胆的决定:将原本用于14纳米工艺研发的5亿美元资金,临时调拨3亿美元用于国产设备的技术升级,重点攻关温控传感器、高精度激光发生器等核心部件。这个决定立刻引发了技术团队的争议,负责14纳米研发的张博士直言不讳:“林总,14纳米工艺的研发已经到了关键阶段,暂停资金投入会延误至少半年进度,可能会错失市场先机。”
这章没有结束,请点击下一页继续阅读!