重生90：从工业母机开始 第144章 精卫填海，光刻之梦

喧嚣的焊接实验现场，随着刘主任带着满意的结果和沉甸甸的图纸离开，终于恢复了平静。

但李晓宇的脚步，并没有因此而停歇。

他转身，穿过了重重安检，来到了位于地下深处，那个全中心保密等级最高，也最安静的地方——“精卫”计划联合攻关实验室。

这里，没有机器的轰鸣，没有飞溅的火花。只有恒温恒湿系统发出的轻微嗡嗡声，和空气中弥漫着的一种，近乎于神圣的洁净气息。

长春光机所所长张承平院士，正穿着全套的白色防尘服，站在一台被厚厚的防辐射玻璃包裹着的，结构极其复杂的仪器前，全神贯注地观察着示波器上的波形。

这是一台，由“金陵中心”和长光所，耗时一年多，联手打造的——超精密深紫外激光直写光刻机。

“李总工，你来了。”看到李晓宇进来，张院士摘下护目镜，虽然满脸疲惫，但眼中却闪烁着兴奋的光芒，“光源稳定了！我们的‘全固态深紫外激光器’，连续运行了四十八小时，功率波动被控制在了千分之一以内！这是世界级的水平！”

李晓宇点了点头，心中也松了一口气。光源，是光刻机的心脏，它的稳定性，直接决定了刻划线条的质量。

“那就开始吧。”李晓宇下达了指令，“让我们看看，这只‘精卫’，到底能不能填平那片技术的汪洋大海。”

实验开始。

在“女娲”系统那经过特殊优化的，纳米级运动控制算法的驱动下，承载着一块超纯净光学玻璃基板的“龙渊”气浮工作台，开始以一种肉眼无法察觉的，极其缓慢而平稳的速度移动。

与此同时，那束人眼不可见的深紫外激光，在精密光学系统的聚焦下，汇聚成一个直径只有几百纳米的光斑，如同上帝的刻刀，精准地轰击在玻璃表面的光刻胶上。

没有声音，没有震动。

只有屏幕上，那一行行飞速跳动的坐标数据，在诉说着这场微观世界里的“宏大工程”。

每一秒钟，都有数以万计的，宽度只有微米级的栅线，被整齐地排列在玻璃上。它们之间的间距误差，被死死地控制在纳米级别！

整整十个小时。

当最后一条栅线刻划完成，工作台缓缓停止时。

那块原本透明的玻璃基板，在特殊的灯光照射下，折射出了如同彩虹般绚丽的，充满了科技感的衍射光芒。

那是“莫尔条纹”的魔法，也是人类精密制造的巅峰体现。

经过最严格的检测，结果让所有人都欢呼雀跃。

“全长精度误差：0.1微米！”张院士激动地挥舞着检测报告，“这意味着，我们终于拥有了制造最高等级光栅尺和编码器的母机！我们的‘精卫’，填海成功了！”

有了它，“夸父”伺服系统的高精度编码器，就有了着落；“昆仑”机床的全闭环控制，就有了保障！中国的高端数控产业，终于补上了最后一块短板！

然而，看着眼前这台凝聚了无数心血的光刻机，李晓宇的目光，却变得更加深邃。

他想到了更远的地方。

“张老，您辛苦了。”他握住老院士的手，诚恳地说道，“但是，这台机器的使命，不仅仅是刻光栅尺。”

他指着那束深紫色的激光，语气中透着一种，透过现象看本质的洞察力。

“既然我们能用它，在玻璃上刻出微米级的线条。那我们为什么，不能用它，在硅片上，刻出纳米级的电路呢？”

张承平院士猛地一震，他看着李晓宇，眼中满是不可思议。

“你是说……芯片光刻机？！”

“没错。”李晓宇点了点头，“随着我们的‘女娲’系统越来越复杂，对芯片算力的要求也越来越高。现在我们还能买到国外的芯片，但未来呢？如果有一天，连芯片也被禁运了，我们的‘大脑’，难道要停止思考吗？”

“未雨绸缪，刻不容缓。”

他当场提出了一个，比“精卫”计划更加宏伟，也更加艰难的构想。

“我要在‘精卫’的基础上，启动代号为**‘神光’**的，国产分步重复投影光刻机（Stepper）研发计划！”

“我们要利用现有的光源和运动控制技术，结合更先进的投影物镜系统，去挑战那个，被ASmL和尼康垄断的，半导体皇冠上的明珠！”

张承平院士深吸了一口气。他知道，这将是一场比之前所有战役都要艰难百倍的苦战。光刻机，那是集人类光学、机械、电子、材料等所有学科之大成的终极产物。

但他看着眼前这个年轻人那坚定得如同磐石般的眼神，心中那股老骥伏枥的豪情，也被再次点燃。

“好！”老院士重重地点了点头，“只要国家需要，只要你李总工敢带头，我这把老骨头，就陪你再疯一次！”

走出实验室，夜色已深。

满天星斗，闪烁着冷冽的光芒。

李晓宇对一直跟在身后的林涛说道：“林涛，去订几张机票。明天，我们要去一趟上海。”

“上海？”林涛有些疑惑。

“对，上海。”李晓宇望着南方的夜空，目光深远，“那里，有我们国家最好的半导体专家，也有我们未来‘神光’计划，最需要的盟友。新的战场，要开启了。”