我的娇羞老婆竟是兵王 第152章 精密的舞台

锐风半导体的主洁净厂房通道，像是一条连接凡尘与未来的纯白甬道。厚重的气密门在身后缓缓合拢，将外界的一切喧嚣隔绝。空气里弥漫着一丝淡淡的、特有的化学溶剂和高效过滤后空气的混合气味，温度恒定，湿度适宜，唯有高级别洁净区特有的、持续低沉的背景嗡鸣声萦绕耳际。

众人换上了特制的防静电连体洁净服，戴上头套、口罩和手套，甚至脚上都套了专用的鞋套，方才通过风淋室的彻底除尘，得以进入这片精密制造的核心区域。

透过巨大的观察玻璃窗，可以看到内部更为核心的区域。里面灯光通明，一排排高度自动化的设备井然有序地运行着，机械臂精准地抓取、放置着晶圆载具，AGV小车沿着地面预设的磁轨无声穿梭。穿着同样纯白洁净服、只露出眼睛的技术人员如同宇航员般，在设备间安静地巡视、操作，一切都在一种极致的秩序和安静中进行。

“啧啧，百闻不如一见。”第三席负手站在观察窗前，语气中带着恰到好处的赞叹，“尚总，贵公司的硬件设施和现场管理水平，确实令人印象深刻，比起我在欧美参观过的某些顶级大厂，也不遑多让啊。”

尚总脸上立刻堆起自豪的笑容：“张董过奖了！我们锐风一直秉持着‘精益求精’的理念，在硬件投入和现场管理上不敢有丝毫松懈。这些都是我们立足行业的根本嘛。”

thomas在一旁配合地点头，用流利的中文补充道：“洁净度等级看来控制得非常好，粒子计数器数据很稳定。设备的自动化程度和稼动率也相当高，这对于保证产品良率和一致性至关重要。”他说话时，目光锐利地扫过设备上的状态指示灯和一旁的电子看板，上面实时滚动着各种生产参数。

尚总身后的一位技术副总连忙接话：“这位先生是行家啊！我们这条12英寸线，关键区域的洁净度稳定维持在ISo 3级（class 1）标准。设备大部分都是从阿斯麦、应用材料、东京电子这些顶尖供应商引进的最新机型，自动化率达到了98%以上。”

刘峻推了推眼镜，看似随意地插了一句，声音透过口罩显得有些闷：“嗯，看到了不少AmAt的Endura和centura平台，tEL的清洗站也不少。不过…我看蚀刻区那边，有几台设备的型号似乎比较老了，是i-line stepper？现在主流深紫外（dUV）浸没式光刻甚至极紫外（EUV）才是趋势吧？这对后续更先进制程的研发会不会形成瓶颈？”

技术副总的笑容微微一僵，略显尴尬地看了一眼尚总，才回答道：“这位先生眼光真毒辣。确实，那几台是老款的I-line光刻机，主要用于一些特征尺寸要求不那么苛刻的底层工艺和特殊器件制造。我们最新的ArF浸没式光刻机在隔壁b区，主要用于55纳米以下的关键层。至于EUV…不瞒您说，那东西太贵了，而且…禁运限制也多，我们目前还在努力突破dUV的极限。”

第三席了然地点点头，语气十分理解：“可以理解，高端装备的获取确实是我们国内企业面临的普遍难题。这也是我们星辰集团关注的重点投资领域——助力像锐风这样有潜力的企业，突破瓶颈，实现技术飞跃。”

他话锋一转，看似不经意地问道：“我听说贵公司在特种半导体材料，尤其是第三代半导体如碳化硅、氮化镓的外延生长和器件制备方面，有些独到的技术积累？特别是掺杂控制和缺陷密度降低方面，据说良品率相当不错？”

尚总闻言，脸上的自豪之色更浓：“张董消息真灵通！这块确实是我们的优势领域！我们在Sic外延的均匀性控制和GaN hEmt器件的电流崩塌效应抑制方面，确实有一些自主研发的工艺秘诀，良品率相比国内同行能高出十到十五个百分点！”

“哦？是吗？”第三席表现出极大的兴趣，“这可是核心竞争力啊。具体的工艺窗口参数和结构设计，一定是贵公司的最高机密了吧？”

“那是自然，那是自然…”尚总连连点头，但眼神深处闪过一丝警惕。

一直安静跟在后面的苏颖，此时轻轻开口，声音柔和却清晰：“尚总，张董，我们是否可以去那边的参数监控中心看看？更直观地了解一下生产线的实时运行数据和良率统计情况？”

“当然可以！这边请！”尚总立刻引路。

一行人移步至生产线旁的中央监控室。一面巨大的电子墙映入眼帘，上面分区块实时显示着各种复杂的图表、曲线、数据流和视频监控画面——各类设备的运行状态、工艺腔室的温度压力、气体的流量纯度、晶圆的薄膜厚度、关键尺寸量测结果、以及最终的电性测试良率等等，海量数据在此汇聚、分析。

刘峻的目光迅速扫过屏幕，尤其是在显示晶圆电性测试参数和良率分布图的几个界面上停留了片刻，眼神专注，手指在裤线旁无意识地轻微颤动，仿佛在默记着什么。

第三席则看似随意地指着良率统计屏幕上一条偶尔波动的曲线，问道：“这个波动看起来有些规律性，是特定机台还是特定工艺步骤的问题？找到根本原因了吗？”

技术副总赶紧上前解释：“张董观察入微！这个是…嗯…涉及到某一台cVd设备腔体清洁周期的一个小优化问题，我们工艺团队已经在跟进调整了，很快就能稳定下来。”

第三席露出满意的微笑：“很好，细节决定成败。拥有这样细致的数据监控和分析能力，正是我们投资者所看重的。”

参观在看似融洽和技术性的讨论中持续进行。第三席和他的团队成员问题不断，每一个问题都精准地指向生产的关键环节、技术难点或核心参数，显示出极高的专业素养。锐风方面的人员起初还带着展示和自豪的心态，但渐渐地，回答变得越来越谨慎，需要不断权衡哪些可以透露，哪些必须含糊其辞。

一种无形的压力，在精密的厂房和看似友好的技术交流中，慢慢凝聚。