听到江晟问自己想选哪条路线,臧教授有些苦恼:
“既然决定换路线,那作为阿斯麦技术延续的高数值孔径EUV,首先排除。
还有X射线光刻,因为掩膜材料容易被损伤,加上高功率、稳定的X射线光源体积太大,大到有足球场大,也可以去掉。
原子层光刻因为技术难度太大,十年都不一定能研发出来,只能暂时搁置。
剩余的两条路线,EBL电子束光刻和NIL纳米压印光刻都不错,一时半会我也难以决定。”
“电子束和纳米压印吗?”
江晟想了想,状似很随意地建议道,“那就选纳米压印吧!”
“为什么?”
“我刚才好像听你说,纳米压印设备的成本,只有EUV的1/5甚至1/10,而且制程步骤简单?”
“是的。”
臧教授点点头,“如果能解决缺陷率和模板寿命问题,这个路线是成本最低的。”
“那不就结了,反正每一条路线,都有难关需要攻克,那我们为什么不选择一条成本最低的?只要将问题解决,那光是成本优势,就能让我们立于不败之地!”
所谓天下武功,唯快不破,在任何行业,低成本优势,都是绝对的大杀器。
东大的商品,之所以能风靡全球,将其他国家的同行打得节节败退,在很大程度上就是靠便宜。
如果真能把光刻机的价格,打到EUV的1/10甚至更低,那芯片代工的价格,是不是也要降?
到时候,所有拿不到莲蓬光刻机的芯片代工厂,都会被能拿到的同行,如中芯国际和莲芯半导体挤兑倒闭。
“可是……”
臧教授仍有些犹疑,“论精度,纳米压印是不如电子束的。”
“纳米压印的精度不是可以支持1nm吗?”
“纳米压印支持1nm制程,只是在理论上可以做到,可电子束,在理论上能达到原子级,也就是0.1nm。”
说到这里,臧教授对江晟正色道:
“虽然就目前来说,1nm已经非常非常先进,可能七八年之后,都不一定能做到量产。
但它的潜力,没有其他路线大,一旦走到底,就可能面临无路可走的窘境,只能重新换方向。
到时候,我们又将面临落后的局面!”
他的意思很明白,拿玩游戏的话说,就是纳米压印再好,也只是前期极品,而电子束,是可成长性装备,能一直用到后期。
闻言,江晟笑了笑:“1nm制程,只要成本够低,我想即便阿斯麦或其他厂商,研发出低于1nm的光刻机,也有足够竞争力吧?
而且,只要我们研发速度足够快,成本和售价足够低,友商能不能撑到,推出低于1nm的光刻机还不好说。
更重要的是,我选纳米压印,不等于就放弃其他路线。
如果,在友商研发出低于1nm的光刻机时,我们在原子层光刻技术也取得突破呢?”
臧教授一懵:“你想同时走两条路线?”
“不错。”
江晟点点头,“既然原子层光刻,是光刻技术的终极形态,那我们没道理放弃。
高精度我要,低成本我也要。如果能把这两条路同时走通,那不管低端,还是高端市场,都会被我们吃掉。
阿斯麦,还有富士通等友商,就算想转低端都不行!”
“……”
臧教授看着江晟,过了许久才有些无奈道:
“江总,你的想法很好,但有没有想过,我们的研发能力,能支撑两条路线同时进行吗?
先不说分散力量,会不会影响研发进度,因为三心两意,导致竹篮打水一场空。
就说原子层光刻,想要完成研发,可能三十年,也可能五十年,甚至更久。
这会与纳米压印技术,形成一个青黄不接的空当。在这个空当内,我们怎么办?”
听到这话,江晟激将道:“你不是说,研制光刻机不难吗?”
“我说的是,研制DUV不难,不是说研制原子层光刻不难。”臧教授辩解说。
江晟决定暂时搁置这一话题,转而问道:
“那你想选哪个?”
“我……”
臧教授一张嘴,刚要回答,却心中一动,道:
“如果我选择EBL电子束光刻路线,你会怎么做?”
“那就再找一个团队,研究原子层光刻。”
江晟回答得十分坦然。
就像之前说的那样,既然原子层光刻,是光刻技术的终极形态,那他就没道理不做布局。
对别人说,动辄三十年、五十年,甚至更长时间的研发周期,令人望而生畏。
但对手握研发卡和灵感卡的他来说,原子层光刻并不是那么的遥不可及。
即便道具卡用多了,效果会递减,甚至无效,整个研发周期也会大大缩减。
最长十年,最短可能只要两三年,就能把它研制出来。
“唉!”
臧教授见他打定主意,要同时走原子层光刻路线,忍不住叹了口气,道:
这章没有结束,请点击下一页继续阅读!