凭借外星科技，建立星海王朝 第253章 进度 拆解计划

辉腾车驶入深蓝半导体厂区时，机械轰鸣声比上次来时更显密集。

只不过，发出声音的位置却是在另一栋生产楼。

在王世杰的安排下，施工队已经在对另一栋生产楼进行改造。若是以后购买新的光刻机，就可以直接进行安装调试了。

而已经安装完光刻机的那栋楼，内部几乎没有声音发出。

楚千澜刚走进生产楼，就看到王世杰穿着蓝色防护服，从光刻区洁净室快步走出，脸上带着掩不住的兴奋。

“楚总！180nm制程的芯片产线全部安装完毕，昨天已经完成单机调试，各项参数基本达到预期标准！”王世杰迎上来，递过一份打印好的调试报告。

楚千澜接过调试报告，目光快速扫过关键数据栏：“光刻胶涂覆均匀度98.5%，曝光精度误差±0.018微米，蚀刻速率稳定性97%……参数比预期还要好。”

他抬头看向王世杰，语气带着几分赞许：“你们调试时遇到的最大问题是什么？后续量产前还需要解决哪些隐患？”

王世杰揉了揉眉心，语气带着一丝庆幸：“最棘手的是离子注入机的束流稳定性，刚开始误差超过3%，张北光团队连夜优化了磁场校准参数，才将误差控制在1.2%以内。

至于隐患，主要集中在洁净室的温湿度波动上。光刻区白天与夜间的温差会导致工作台轻微形变，虽然现在误差在允许范围，但长期量产可能影响良率，我们计划加装恒温恒湿精密控制系统。”

楚千澜跟着王世杰走进洁净室走廊，透过观察窗，能看到几名工程师正围着光刻机调试软件参数，屏幕上跳动的数据流在昏暗环境中格外醒目。

两人沿着洁净室走廊继续前行，来到蚀刻区时，几台等离子蚀刻机正处于待机状态，机身侧面的显示屏上跳动着实时压力和气体流量数据。

“蚀刻环节的参数调试还算顺利，”王世杰指着设备，“我们用测试硅片做了十组实验，线宽均匀度能稳定在±0.02微米，符合180nm制程要求。”

楚千澜停下脚步，扫视了一下设备，并没有做出评价。

直到二人看完所有生产设备，他才开口问道，“这条产线什么时候联机调试？大约什么时间能交付使用？”

王世杰眼中闪过一丝期待：“联机调试计划下周一启动，我们准备先用测试硅片跑三批完整流程，重点验证各设备间的数据交互和工艺兼容性。

按目前进度，若联机调试顺利，本月下旬就能完成产线验收，月底前可以开始试生产。”

楚千澜目光落回光刻机方向：“虽然我们希望尽快完成调试，但也要保证设备的稳定性！

试生产阶段，先聚焦电源管理芯片，这是我们自己研发的产品，更能快速验证产线稳定性。另外，以后正式生产后，也会生产这种芯片。”

作为楚千澜旗下，唯一可以正大光明生产的芯片，他自然要将订单放到自家公司。

王世杰重重点头：“明白！电源管理芯片的工艺参数，我们已经和星源探索的陈文州团队对接，试生产时会优先安排。

而且张北光团队还整理了设备维护手册，后续量产时，每个环节都会有专人负责巡检，确保良品率稳定。”

两人走出洁净室，脱下防护服时，王世杰忽然想起什么，补充道：“楚总，沈院士上周还联系过我，问我们产线调试进度，说若是需要技术支持，他可以协调中科院的专家过来指导。”

楚千澜轻叹一声：“沈院士的好意心领了，现阶段我们先自己磨合，真遇到解决不了的技术瓶颈再麻烦他。”

两人又在厂区转了一圈，重点查看了新改造生产楼的施工进度。

钢筋骨架已经搭建到第三层，几名工人正站在脚手架上焊接，火花在阳光下溅起细密的光点。

王世杰手拿图纸，开口介绍，“这栋楼按Class 1洁净室标准建造，专门预留了45nm光刻机的安装空间。

预计10月底完成主体施改造，只要购买到设备，就能投入使用，到时候我们就能同时运行两条芯片产线。”

楚千澜却摇了摇头，“以我们现在的状态，并不需要那么大的产能。还是再买一台光刻机，用来拆解研究吧！”

他建立深蓝半导体，是为了不被国外卡脖子。至于接芯片订单赚钱，并不在他的计划之中。

而且，有女娲系统的存在，只要拆解了光刻机，就可以得到各种零配件的具体参数。

其中的一些工艺可能无法直接复刻，但想要仿制光刻机，难度将大幅度降低。

王世杰闻言，顿时明白楚千澜的意图，“这样也好，说不定我们以后，就能用上自己生产的先进光刻机了！”

楚千澜目光扫过正在被改造的生产楼，语气带着几分笃定：“自主研发光刻机是长远目标，其他设备也不能放过！等生产线那边完成调试，你就抽调人员，为此做好准备吧！”

王世杰点头：“嗯，我会安排此事。不过……再买一台二手先进光刻机，预算恐怕不够，深蓝半导体的10亿贷款，现在只剩下不到两亿。再扣除第二座生产楼的改造费用，就只剩下1个多亿了！”

“预算不是问题，我会想办法！”楚千澜语气平静。

在他看来，此次购买管科技，并不需要多么新进，甚至是损坏的也可以，反正最终都无法逃脱被拆解的命运。

王世杰闻言，眼中的顾虑消散不少，连忙应道：“有楚总这句话，我就放心了。待到生产线完成调试，我就筛选合适的二手设备信息。”

楚千澜微微颔首，“先买一些便宜的二手光刻机练手，总结一些经验与技术。只有把技术吃透，才能考虑改进工艺，生产出我们自己的光刻机！”

……

叮嘱完深蓝半导体后续工作后，楚千澜驾车往回赶。这一次，他准备去前往星源探索，看一看EDA工具与芯片研发进度如何了！

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